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同时极紫外光刻机的光路系统要求考虑的因素非常多,因为极紫外光刻机的光子能量非常高,几乎所有的材料都会吸收极紫外光。
而吸收了极紫外光必然会发热,发热就会带来材料的变形。对于需要纳米级成像的光刻机来说,简直就是灾难,基本就无法使用了。
如果不加控制,光路系统还有被烧毁的风险。
所以极紫外光刻机里,光源和每一面镜子的背后都有非常高效的冷却装置,把极紫外光照射产生的热量及时带走。
最后,光刻机研发真正困难的是成像质量补偿。光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的,但设备的生产是不可能做到完美的,镜头使用的材料不可能做到完美。
镜头打磨不可能做到完美,镜头组装也不可能做到完美。同时镜头材料和支撑材料都必然存在热胀冷缩的问题。
这些问题都会给最终成像效果带来误差,而且很多成像误差是不断变化的。
必须通过一系列办法进行校准和修正,甚至要求通过软硬件结合的自动化控制来实现实时成像补偿,这才是真正的难点。
还需要大量精密控制装置的支持专利。不仅实现起来非常困难,还要面临大量的专利陷阱。
这光刻机,本来就是十几个发达国家,联合研制出来的一个产品,涉及到的行业之广,设计到的仪器之顶尖,都是咱们暂时达不到的。
只能说咱们开局太晚了啊!综合那么多高端的精密仪器,我们搞不来……”
陈小川听了之后点点头,众人也是听的云里雾里,但是最终还是知道一个结论,
这光刻机,不好造!
但是陈小川又说:
“李院士说得对,也是说的很全面。这的确是我们的一个不足之处,不,这是我们的很多不足之处。
我们没有那么多高端的仪器制造,没有那么精密的仪器,设备,甚至在光学上,我们也比不过卡尔蔡司。
但是咱们华夏人最不缺的就是创新精神,难道说咱们这芯片制造只能依靠光刻机吗?
没了张屠夫,咱们就要吃带毛猪?不,不可能,一定有其他的替代方案。
光刻机的复杂和精密以及小型化是他的一大优点,但是我觉得这也正是他们光刻机的一个缺点。
正是因为他们要把光刻机当做一个商品售卖,所以他们不得不做的精细,做的方便运输,所以一定要适合运输,只
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